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メタルフリー小型オゾン水生成装置

OWF-10L20P

メタルフリータイプのオゾン水生成装置

MAX10Lで20ppmのメタルフリーオゾン水を生成。

小型のプロセス組込や、各種の実験用途向けに作られたオゾン水生成装置の10L/min 20ppmタイプです。

タッチパネルで設定したオゾン水濃度に自動制御。先止めでの運転も可能です。

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    OWF-10L20Pの特長

    • 金属汚染の無いクリーンオゾン水

      接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適したクリーンなオゾン水を生成。

    • タッチパネルで簡単操作

      タッチパネル操作で簡単に高濃度オゾン水が生成可能。外部制御にも対応しております。

    • 冷却水不要

      高濃度オゾンの発生に欠かせない外部からの冷却水供給を、ラジエータ冷却水循環器内蔵により不要としました。

    カスタマイズ対応可能!
    利用プロセスや装置に合わせ、カスタマイズ可能です。
    機種選定・系統提案いたします!
    利用目的を教えてください。豊富な経験と知識を元に、機種選定・系統提案いたします!
    組込にあたってのご協力も約束
    貴社システムへの組み込みにあたっての注意点、あるいは設計上の問題等について、サポートすることをお約束します。

    OWF-10L20Pの概要

    メタルフリー小型オゾン水生成装置OWF-10L20P

    この製品のポイント

    • 最高オゾン水濃度20ppm
    • 最大オゾン水吐出量10L/min
    • 冷却水不要
    • タッチパネル搭載
    • 濃度自動制御

    こんなことができます

    • 表面酸化
    • レジスト剥離
    • 有機物洗浄

    製品の仕様

    型式OWF-10L20P
    オゾン発生方式無声放電法
    オゾン水生成能力10L/min にて 最大20ppm以上
    (流量・濃度の調整可能)
    接オゾン材質石英ガラス,PFA,PTFE,ルビー
    放電管冷却方式水冷式 (内部ラジエータ水冷)
    原料ガス流量計5L/min
    外形寸法450W×550D×800H (突起部は含まない)
    重量約50kg
    ガス出入口外径6mmまたは1/4インチチューブ用継手
    原料水入口外形1/2インチ用テフロン継手
    オゾン水出口外形1/2インチ用テフロン継手
    電源AC100V±10%,50/60Hz
    オプション:AC200V±10%
    消費電力800W
    外部入出力あり
    使用環境気温5~40℃,湿度90%R.H.以下
    屋内,結露が無いこと,塵埃が少ないこと
    メーカーエコデザイン株式会社

    主に使われる用途・業種

    • 半導体洗浄

    • 液晶製造工程

    • 太陽電池洗浄

    レンタル

    レンタル対応可 この機種はレンタルサービスをご利用いただけます。ご購入前のお試し利用や、短期間での試験などにご活用ください。

    料金表

    OWF-10L20P
    1週間
    -
    2週間
    -
    1ヶ月
    ¥350,000
    2ヶ月
    ¥315,000/月計 ¥630,000
    3ヶ月
    ¥280,000/月計 ¥840,000
    4ヶ月
    ¥263,000/月計 ¥1,052,000
    5ヶ月
    ¥245,000/月計 ¥1,225,000
    6ヶ月
    ¥228,000/月計 ¥1,368,000
    7ヶ月
    ¥217,000/月計 ¥1,519,000
    8ヶ月
    ¥207,000/月計 ¥1,656,000
    9ヶ月
    ¥196,000/月計 ¥1,764,000
    10ヶ月
    ¥186,000/月計 ¥1,860,000
    11ヶ月
    ¥175,000/月計 ¥1,925,000
    12ヶ月
    ¥165,000/月計 ¥1,980,000

    レンタル価格表
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