3.　オゾン発生器関連

無声気中放電式オゾン発生器

無声放電を利用したオゾン発生器で、無声放電部に酸素含有気体を流して、オゾンを発生させます。

1857年にドイツのジーメンス社が開発したものと言われています。

既存のオゾン発生器の形式の中ではエネルギー効率が最も高く、現在大型のオゾン発生器の大部分がこの方式です。

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