• インライン用
• 暖機運転不要
• 即時使用可能
• 水銀フリー

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UV-LED式で水銀フリー。インラインプロセスに対応し、暖機運転不要ですぐに測定できます。 コンパクトで環境に優しいオゾン濃度計

• 最大流量：5L/min
• 酸素ガス圧力：0.2MPa
• 高圧仕様
• 酸素濃度計
• タッチパネル
• 流量センサ

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吐出圧0.2MPaの高圧仕様、5L/minの性能でオゾン水生成装置との組み合わせにも最適。 高圧仕様。酸素濃度計・デジタル表示流量センサ搭載。高機能なPSA酸素濃縮器。

• 最大流量：6L/min
• 酸素濃度計
• タッチパネル
• 流量センサ

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空気から窒素を取り除き、高濃度酸素を取り出すための装置です。吐出流量6L/min。 酸素濃度計・デジタル表示流量センサ搭載。高機能・リーズナブルなPSA酸素濃縮器。

• 最大オゾン発生量：5g/h
• 最大オゾン濃度：70g/m³
• 空冷
• 流量計
• 圧力計

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オゾン発生量5g/h。コンパクト、空冷式でありながら放電部の冷却効率の安定性に優れます。 オゾン発生量5g/h、空冷式・コンパクト・高機能！手軽に使える産業用オゾン発生器！

• 最大流量：6L/min

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高濃度オゾンガス発生に必須な酸素ガスを電気だけで生成できます。 オゾン発生器への酸素供給に最適

• 最大オゾン発生量：40g/h
• 最大オゾン濃度：180g/m³
• 冷却水不要
• 流量計
• 圧力計

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外部冷却水が不要でありながら、オゾン発生量は40g/h。高耐久性、濃度の安定性に優れます。現場でのオゾン利用の利便を考えた設計です。 外部冷却水不要、高耐久性・高メンテナンス性を実現。オゾン発生量15g/hと40g/hの2種をラインナップ。

• 環境用
• 低濃度用

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紫外線吸光式。環境中の低濃度オゾンを測定可能です。最小指示値0.001ppm (1ppb)。 無人での長期運転にも適した環境用オゾン濃度計

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大風量対応型のオゾン分解装置です。活性炭と異なり、爆発の心配がありません。 使用後のオゾンを安全に除去します。

• 最大オゾン発生量：15g/h
• 最大オゾン濃度：180g/m³
• 冷却水不要
• 流量計
• 圧力計

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外部冷却水が不要でありながら、オゾン発生量は15g/h。高耐久性、濃度の安定性に優れます。現場でのオゾン利用の利便を考えた設計です。 外部冷却水不要、高耐久性・高メンテナンス性を実現。オゾン発生量15g/hと40g/hの2種をラインナップ。

• 最大オゾン発生量：2000mg/h
• 空冷
• ポンプ内蔵
• 原料用意不要
• タイマ搭載

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室内空気を原料に、2000mg/hのオゾンを発生することができます。原料酸素を用意する必要がありません。タイムスイッチにより、無人の時間帯にも自動運転が可能です。 空気原料で2000mg/hのオゾンを発生

• 最大オゾン発生量：4g/h
• 曝露試験用
• 濃度制御用
• 流量計

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最大オゾン注入能力4g/h。濃度計や恒温槽と組み合わせることで、オリジナルの条件のオゾン曝露試験装置を作ることができます。最大5m³のチャンバまで実績がございます。 この装置と、濃度計、恒温槽があれば、オリジナルのオゾン曝露試験装置が構成できます。

• 最大オゾン発生量：4g/h
• 最大オゾン濃度：50g/m³
• 空冷
• 流量計

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【後継機種のご案内】後継機種「ファボゾン5 FOG-AC5G」をご利用ください。 簡単手軽な実験用

• 最大オゾン発生量：15g/h
• 組込用
• 外部水冷

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15g/hのオゾンを発生できる水冷式のオゾン発生ユニット（モジュール）です。 15g/hの水冷式オゾン発生ユニット

• 最大オゾン発生量：4g/h
• 組込用
• 空冷

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4g/hのオゾンを発生できる空冷式のオゾン発生ユニット（モジュール）です。 シンプルな空冷式オゾン発生ユニット

• 最大オゾン水濃度：100ppm
• 最大オゾン水流量：60L/min
• 循環型
• 濃度計

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大流量、高濃度のオゾン水生成装置です。カスタマイズ歓迎。洗浄、レジスト剥離用途に適合、枚葉式洗浄装置にも最適です。特許取得済み。 濃度～100ppm、流量～60L/minの幅広い適応範囲。多種多様な要求にオーダーメイド可能。

• 最大オゾン水濃度：20ppm
• 最大オゾン水流量：10L/min
• 濃度計
• 先止め対応

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MAX10Lで20ppmのメタルフリーオゾン水を生成。 メタルフリータイプのオゾン水生成装置

• 最大オゾン水濃度：25ppm
• 最大オゾン水流量：5L/min
• 濃度計
• 先止め対応

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MAX5Lで25ppmのメタルフリーオゾン水を生成。 メタルフリータイプのオゾン水生成装置

• 最大オゾン水濃度：10ppm
• 最大オゾン水流量：10L/min
• 濃度計
• 先止め対応

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10L/minにて10ppmの高濃度オゾン水を安定して生成できます。オゾン水濃度計内蔵、先止めにも対応しています。 一般産業、研究開発向け。MAX10ppmの高濃度オゾン水を安定生成。

• インライン用
• 素早い応答性

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紫外線吸光式。インラインプロセスでの使用が可能です。20L/minの大流量まで対応します。 インラインで正確にオゾン測定

• インライン用
• 素早い応答性

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シンプルで使いやすく壊れにくいオゾン水濃度モニタ。インラインプロセスでの使用が可能です。

• インライン用
• 素早い応答性

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【販売終了品】EG-610の旧型製品です。 インラインで正確にオゾン測定

• 最大使用流量：10L/min、30L/min
• 触媒方式
• インライン用

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酸素および空気原料のオゾンガスをインラインで分解するための装置です。活性炭と異なり、爆発の心配がありません。 使用後のオゾンを安全に除去します。

• 最大流量：4L/min

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空気中の酸素を濃縮する装置です。酸素ボンベを使えない現場でのオゾン利用に便利です。 シンプル・高耐久な小型PSA酸素濃縮器

• 最大オゾン発生量：12g/h
• 最大オゾン濃度：150g/m³
• 冷却水不要
• 流量計
• 圧力計

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【後継機種のご案内】後継機種「ファボゾン15 FOG-RC15G」をご利用ください。

• 最大オゾン発生量：40g/h
• 最大オゾン濃度：150g/m³
• 冷却水不要
• 流量計
• 圧力計

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【後継機種のご案内】後継機種「ファボゾン40 FOG-RC40G」をご利用ください。

• 最大流量：5L/min
• 酸素ガス圧力：0.2MPa
• 高圧仕様
• 酸素濃度計
• タッチパネル
• 流量センサ

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【後継機種のご案内】後継機種「ICX-005AHP」をご利用ください。 高圧仕様。酸素濃度計・デジタル表示流量センサ搭載。高機能なPSA酸素濃縮器。

• 最大流量：6L/min
• 酸素濃度計
• タッチパネル
• 流量センサ

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【後継機種のご案内】後継機種「ICX-006A」をご利用ください。 酸素濃度計・デジタル表示流量センサ搭載。高機能・リーズナブルなPSA酸素濃縮器。

• フッ素樹脂製
• 耐オゾン性
• 特殊工具不要

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特殊な工具なしで取り付け簡単。接ガス部はオールフッ素樹脂製で、オゾンによる腐食がありません。 簡単施工なのに高いシール性を実現