研究者・工場向けオゾン装置メーカーのエコデザイン株式会社。オゾンを現場で安全かつ効果的に使用する方法をアドバイスします。
TEL 0493-72-6161 営業時間 平日9:00～18:00
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オゾン水洗浄によるAl膜への影響度（表面粗さ）を確認。
| 使用オゾン発生器 | 研究開発用オゾン発生器 ED-OG-R4BW(旧ED-OGM-1) |
| 洗浄水圧力 | 0.1MPa |
| O2ガス圧力 | 0.2MPa |
| O2ガス流量 | 0.5l/min |
| オゾン発生器電流値 | 1A |
| オゾン発生器冷却水温度 | 27℃ |
| オゾン濃度 | 130g/Nm3 |
| オゾン発生量 | 6g/hr |
基板上にアルミ成膜
→レジスト塗布（54cp）
→プリベーク（恒温槽110℃，5min）
→剥離液槽（2min）
→IPA洗浄槽（2min）
→純水洗浄槽（2min）
→純水洗浄フィルター循環槽（2min）
→最終スプレー洗浄
| 項目 | 基板 No. |
洗浄 方法 |
洗浄 時間 |
O2 圧力 |
O2 流量 |
| リファレンス | 1 | - | - | - | - |
| 表面粗さ | 2 | オゾン水洗浄 | 40sec | 0.2MPa | 0.5l/min |
| 3 | 5min |
R50付近の一点を測定する。
リファレンス基盤×10,000
リファレンス基盤×50,000
オゾン水洗浄（40sec）×10,000
オゾン水洗浄（40sec）×50,000
オゾン水洗浄（5min）×10,000
オゾン水洗浄（5min）×50,000
リファレンスと比較し、表面粗さが粗くなっているよりも、むしろ平坦化されているように観察される。
オゾン水洗浄5min時に、黒点が観察される。（ピンホール？）
