お客様と当社との合同試験の結果です。

お客様のご好意によりデータをご提供いただき、公開しています。

今後、同様な試験を行う方は是非参考にしてください。

貴重なデータをご提供いただいた方々には、厚くお礼申し上げます。

コーヒーの脱色試験
レギュラーコーヒーの色・PHの変化を見る試験です。
オゾン水による基板の有機物洗浄試験(1)
フォトリソ工程の最終スプレー洗浄においてオゾン水を使用し、洗浄後基板表面の有機物残渣をXPSにて測定、オゾン水洗浄の効果を検証する。
オゾン水による基板の有機物洗浄試験(2)
オゾン水洗浄における、有機物除去性の面内均一性を確認。及び、オゾンによるAl膜への影響度(表面酸化)を確認。
オゾン水による基板の有機物洗浄試験(3)
オゾン水洗浄によるAl膜への影響度(表面粗さ)を確認。
オゾン水による基板の有機物洗浄試験(4)
オゾン水による基材の洗浄力を確認する。
オゾン水による基板の有機物洗浄試験(5)
オゾン水による基材の腐食を確認する。