研究者・工場向けオゾン装置メーカーのエコデザイン株式会社。オゾンを現場で安全かつ効果的に使用する方法をアドバイスします。
TEL 0493-72-6161 営業時間 平日9:00～18:00
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オゾン水による基材の洗浄力を確認する。
| 使用オゾン水生成装置 | オゾン水生成装置 ED-OW-7(旧ED-OW-3) |
| 洗浄水 | 流水中に浸漬 |
| オゾン水濃度 | 7～8ppm |
| オゾン発生器冷却水温度 | 23.5℃ |
処理対象の基材に有機物（油）を垂らす。
→超音波洗浄槽にオゾン水、酸素含有水、もしくは水道水を満たす。
→有機物をたらした窒化チタンを槽内で左右に振り洗浄する。
→それぞれサンプリングしたものを分析。
| 基材 | オゾン濃度 | 超音波 洗浄器 |
時間 | 外観 （内面残渣率） |
| TiN （窒化チタン） |
0ppm 水道水 |
不使用 | 5s | 95％ |
| 不使用 | 30s | 30％ | ||
| 0ppm 水道水＋酸素 |
不使用 | 5s | 16％ | |
| 使用 | 5s | 16％ | ||
| 7～8ppm 水道水＋オゾン |
不使用 | 5s | 7％ | |
| 使用 | 5s | 59％ | ||
| 不使用 | 30s | 3.5％ | ||
| 使用 | 30s | 5.7％ |
残渣の様子
上画像より、拡大写真へリンク（別窓）
オゾンによる洗浄効果は確認された。
洗浄時間延長で洗浄力は増加するが、完全除去にはさらなる水圧等を要する。
酸素含有水のみで洗浄効果がありそうだが、若干拭いたため再確認要。
オゾン含有水での超音波洗浄は逆効果。
オゾン含有水での超音波洗浄時の観察では、有機物に無数の気泡が発生し、これが基板からの有機物剥離を阻害していると考える。
