オゾン水による基板の有機物洗浄試験(5)

試験目的

オゾン水による基材の腐食を確認する。

試験条件
使用オゾン発生器 研究開発用オゾン発生器 ED-OG-R4BW(旧ED-OGM-1)
洗浄水 水槽内の水に高濃度オゾンを曝気
原料ガス流量 0.09~0.11l/min
オゾン発生器内圧力 0.1MpaG
オゾン濃度 200~230g/nm3
水中オゾン濃度 ~30mg/l
系統構成
基材の腐食を確認する。系統構成。(写真)

左から順に機材を説明。

  • 酸素ボンベ
  • マスフローメータ
  • オゾン発生器
  • オゾン濃度系
  • 試験水槽
  • インライン用オゾン分解器(ED-MD9-500S
結果
基材 TIN(窒化チタン)
試験条件 75倍 750倍
未処理 腐食確認試験結果。未処理・75倍(写真) 腐食確認試験結果。未処理・750倍(写真)
水道水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。水道水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。水道水・750倍(写真)
オゾン水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。オゾン水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。オゾン水・750倍(写真)
※色の差は、光量の差による。
基材 DLC(ダイアモンドライクカーボン)
試験条件 75倍 750倍
未処理 腐食確認試験結果。未処理・75倍(写真) 腐食確認試験結果。未処理・750倍(写真)
水道水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。水道水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。水道水・750倍(写真)
オゾン水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。オゾン水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。オゾン水・750倍(写真)
オゾン水浸漬
96時間
汚染除去
腐食確認試験結果。オゾン水・汚染除去・75倍(写真) 腐食確認試験結果。オゾン水・汚染除去・750倍(写真)
※色の差は、光量の差による。
基材 Ti(チタン)
試験条件 75倍 750倍
未処理 腐食確認試験結果。未処理・75倍(写真) 腐食確認試験結果。未処理・750倍(写真)
水道水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。水道水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。水道水・750倍(写真)
オゾン水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。オゾン水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。オゾン水・750倍(写真)
※色の差は、光量の差による。
基材 SiO2(酸化シリコン)
試験条件 75倍 750倍
未処理 腐食確認試験結果。未処理・75倍(写真) 腐食確認試験結果。未処理・750倍(写真)
水道水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。水道水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。水道水・750倍(写真)
オゾン水浸漬
96時間
腐食確認試験結果。オゾン水・75倍(写真) 腐食確認試験結果。オゾン水・750倍(写真)
※色の差は、光量の差による。

DLCが著しくオゾンにより腐食され、黒粉を生じている。

それ以外の基材については、大きな変化は確認されない。

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