シリコンウェハーの精密洗浄にメタルフリーのオゾン水生成装置

インタビュー

――業務内容を教えてください。

私どもは主として半導体のシリコンウェハーの表面処理の装置をメインとして製造販売しています。表面処理と言いますのは、まずウェハーの精密洗浄。それから表面のエッチング。それからレジストを除去する。それから現像処理をする。そうした表面処理の装置を製造販売をしています。

また、弊社は創業当時から半導体製造装置に特化して事業を行っているので、自社製品は勿論ですが、他社製品のメンテナンスまで対応することができます。

初めはドラフトチャンバーとか、そういう手動式の簡単なものから立ち上げて、そこから段々と高度化した製品を取り扱っています。

――用途について教えてください。

うちにくるお客さんは、半導体業界の中でもいわゆるウェハーメーカー、材料メーカーが精密洗浄用に使います。精密洗浄の形式は枚葉式やバッチ式に分かれます。さらに、バッチ式に関しては、弊社にはウェハーだけを搬送する装置がありますので、それもセットでシステム化して売っております。最近の納品先は中国など、海外が多いですね。

画像提供：ジャパンクリエイト株式会社

――精密洗浄と言いますと、具体的にどういったことなんでしょうか？

　シンプルに言うと、ウェハー表面のパーティクルを除去することです。ただ、求められる洗浄のレベルがどんどん高度化して、ナノレベルのパーティクルを除去する時代になっていますので、それに伴ってただ洗浄するというわけにはいかず、オゾン水を使って表面に酸化膜を作ってフッ酸で除去するといった、非常に高度なものとなってきています。

　元々は、表面を物理的にこするとか、超音波をウェハーにかけて除去するとか物理的な方法も行われていましたが、ナノレベルの微細なパーティクルを取るには、もっとソフトタッチに表面のごみを取りたいということでオゾンを使うということになってきています。

　具体的にはオゾン水で、その表面に酸化膜を作って、そのあと希フッ酸で除去するということで、パーティクルを酸化膜と一緒にとっちゃうと言うことですね。

　半導体基板の洗浄には、工場によっては１０近い洗浄機を通すのですが、その中でも最終段階に近いところの１台にオゾンを使った洗浄を行います。業界ではファイナルクリーナーと呼ぶのですが、その段階では極力物理的に表面に力を加えたくないので、やはりオゾンを使いたいということになります。

――製品を選んだ理由と、よかった点について教えてください。

やはりまずはコンパクトであるということ。もちろん値段もリーズナブルなものでないといけないし、小型だから我々の装置と一緒に並べるのに便利だということで。重量も予算も想定よりちょっと少なく済んだんですね。

――改善してほしい点について教えてください。

消耗品のような部分を、長寿命で、圧力とかに耐えるといったような、その辺をちょっと改善して欲しいですね。メンテが少なくて、メンテしなくてもいいものがいいですね。それとやはりオゾン水には炭酸ガスとか酸素とか供給するのがもうちょっと簡易的にできればいいなあと思っています。

――ありがとうございました。

製品の活用方法

半導体基板となるシリコンウェハーの精密洗浄に使用されております。

ジャパンクリエイト様は様々な半導体基板の洗浄装置を取り扱っておりますが、その中でも最終的な洗浄工程に近い精密洗浄工程でご利用しております。枚葉式自動洗浄装置に接続してのご利用です。

現在の量産品としては最先端クラスである直径300mmのシリコンウェハーまで対応可能です。

画像提供：ジャパンクリエイト株式会社

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メタルフリーオゾン水生成装置シリーズ OWF-C20L30P　オーダーメイド仕様

オゾン水濃度20mg/L、オゾン水流量30L/min。旋回流式溶解法（当社独自技術）により、メタルフリーのオゾン水を高濃度、大流量で供給できます。ご要望に応じて細かい仕様を変更可能です。

※弊社のホームページ上に掲載されていない製品となります。詳しくはお問い合わせください。

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