オゾン水生成装置

半導体や産業用途に最適な、メタルフリーのオゾン水生成装置シリーズです。大流量・高濃度のオゾン水を安定供給でき、洗浄やレジスト剥離など、高度なプロセスに幅広く対応しています。
洗浄装置への組み込みのほか、プロセスに応じたカスタマイズも可能です。小型モデルではコンパクトながら自動濃度制御が可能で、多様な試験環境やプロセスへの組込にも最適。精密性と汎用性を兼ね備えた、特許取得済みの先進技術を使用しています。

このページに掲載されていない製品でも、ご要望に応じてオーダーメイドでのオゾン水生成装置の製作を承っております。まずはお問い合わせください。