【初出展】第3回九州半導体産業展にエコデザイン株式会社が出展いたします

第3回九州半導体産業展にエコデザイン株式会社が出展いたします。

本展示会にはエコデザイン株式会社は初の出展となります。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。

出展情報

出展展示会：［九州］半導体産業展

小間番号：A7-57

会期：2026年9月30日(水)・10月1日(木)　10:00～17:00

会場：マリンメッセ福岡 A・B館

主催：［九州］半導体産業展 実行委員会

エコデザイン株式会社　出展者情報ページ　(新しいタブで開きます)

【出展予定製品】

高濃度メタルフリーオゾン水生成器 OWF-Cシリーズ

半導体製造の前工程における精密ウエハ洗浄やレジスト剥離用途に最適な、大流量・高濃度オゾン水生成器です。

高濃度メタルフリーオゾン水生成器 OWF-Cシリーズの製品情報を見る

【主な特徴】

• メタルフリー：独自技術により、金属汚染（メタルコンタミ）を極限まで排除したクリーンなオゾン水を生成します。
• 優れた循環方式：溜まり水や捨て水を極めて少なく抑え、わずか1分で設定濃度に到達。洗浄プロセス中のオゾン水濃度と流量を常に安定させます。
• 幅広い適応力：最高濃度100ppm、最大流量50L/min（OWF-C45L30Pの場合）まで対応し、研究開発から量産ラインまで幅広くカバーします。

【ラインナップ】

• OWF-C45L30P：量産・大流量向け（MAX 100ppm / 50L/min）
• OWF-C5L30P：コンパクト・実験向け（MAX 60ppm / 7L/min）

ブースでは、お客様の仕様に合わせた柔軟な個別設計のご提案のほか、導入前の無料デモ試験やレンタル、共同実験サポートのご相談も承ります。お気軽にお声がけください。

UV-LED式オゾン水濃度計 O3M-S-Wシリーズ

半導体プロセスの精密洗浄管理やインラインモニタリングに最適な、UV-LED式のオゾン水濃度計です。

UV-LED式オゾン水濃度計 O3M-S-Wシリーズの製品情報を見る

【主な特徴】

• 超高濃度測定：最大150mg/L（150ppm）までの高濃度オゾン水が測定可能。簡易測定では実現不可能な高精度な濃度管理を行います。
• インライン対応＆コンパクト：W141×D180×H110mmと非常に小型で操作も簡単。インラインプロセスでの継続的な使用に最適です。
• 暖機運転不要：紫外線吸光光度法を利用しており、電源を入れたらすぐに測定を開始できます。
• クリーン＆環境配慮：半導体洗浄工程で安心の「メタルフリー」仕様。さらに、従来使われてきた水銀を使用しない「水銀フリー」で環境にも優しい設計です。

【主な用途】

精密洗浄管理、プロセス制御、インラインモニタリング、水質管理など。

ブースでは、お客様の仕様に合わせたカスタマイズのご提案をはじめ、導入前の性能評価に便利な機材レンタルのご相談も承ります。