3.　オゾン発生関連

電気分解式オゾン発生器

1985年にStuckiにより発表されたオゾン発生器であり、高分子電解質膜を電極間に挟んで水の電気分解を行うことによりオゾンを発生します。

通常の水の電気分解では水素と酸素が発生し、オゾンはほとんど発生しないのですが、特に電気分解用の電極としてニ酸化鉛（β型）を用いることにより陽極側で酸素の発生と共に高濃度のオゾンを発生させることが可能です。

半導体ウエファ洗浄用の高濃度オゾン水を生成するために10年以上前から用いられていますが、近年食品洗浄等のオゾン水生成用にも製品化されています。

長所は15～20w％という高濃度のオゾンを発生するため比較的容易に高濃度のオゾン水を生成できることです。

ただし、オゾン発生効率が放電法に比して低いため大規模化には適せず、また高分子電解質膜の寿命が短い等の難点があると言われています。

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