オゾンラボ(解説記事) オゾン水によるフォトレジスト剥離|予備試験の結果と導入時のポイント
はじめにオゾン水の導入・装置選定を検討している方に向けて、エコデザインで行ったフォトレジスト剥離の予備試験を紹介します。この記事では、実際にどのようなサンプルを処理し、どのような結果が得られたのかを中心に、オゾン水を使うメリットと注意点まで...
オゾンラボ(解説記事)
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