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小型のプロセス組込や、各種の実験用途向けに作られたオゾン水生成装置の10L/min 20ppmタイプです。
タッチパネルで設定したオゾン水濃度に自動制御。先止めでの運転も可能です。
接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適したクリーンなオゾン水を生成。
タッチパネル操作で簡単に高濃度オゾン水が生成可能。外部制御にも対応しております。
高濃度オゾンの発生に欠かせない外部からの冷却水供給を、ラジエータ冷却水循環器内蔵により不要としました。
型式 | OWF-10L20P |
---|---|
オゾン発生方式 | 無声放電法 |
オゾン水生成能力 | 10L/min にて 最大20ppm以上 (流量・濃度の調整可能) |
接オゾン材質 | 石英ガラス,PFA,PTFE,ルビー |
放電管冷却方式 | 水冷式 (内部ラジエータ水冷) |
原料ガス流量計 | 5L/min |
外形寸法 | 450W×550D×800H (突起部は含まない) |
重量 | 約50kg |
ガス出入口 | 外径6mmまたは1/4インチチューブ用継手 |
原料水入口 | 外形1/2インチ用テフロン継手 |
オゾン水出口 | 外形1/2インチ用テフロン継手 |
電源 | AC100V±10%,50/60Hz オプション:AC200V±10% |
消費電力 | 800W |
外部入出力 | あり |
使用環境 | 気温5~40℃,湿度90%R.H.以下 屋内,結露が無いこと,塵埃が少ないこと |
メーカー | エコデザイン株式会社 |
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