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メタルフリー小型オゾン水生成装置
OWF-10L20P
メタルフリータイプのオゾン水生成装置
MAX10Lで20ppmのメタルフリーオゾン水を生成。
小型のプロセス組込や、各種の実験用途向けに作られたオゾン水生成装置の10L/min 20ppmタイプです。
タッチパネルで設定したオゾン水濃度に自動制御。先止めでの運転も可能です。
OWF-10L20Pの特長
金属汚染の無いクリーンオゾン水
接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適したクリーンなオゾン水を生成。
タッチパネルで簡単操作
タッチパネル操作で簡単に高濃度オゾン水が生成可能。外部制御にも対応しております。
冷却水不要
高濃度オゾンの発生に欠かせない外部からの冷却水供給を、ラジエータ冷却水循環器内蔵により不要としました。
- カスタマイズ対応可能!
- 利用プロセスや装置に合わせ、カスタマイズ可能です。
- 機種選定・系統提案いたします!
- 利用目的を教えてください。豊富な経験と知識を元に、機種選定・系統提案いたします!
- 組込にあたってのご協力も約束
- 貴社システムへの組み込みにあたっての注意点、あるいは設計上の問題等について、サポートすることをお約束します。
OWF-10L20Pの概要
メタルフリー小型オゾン水生成装置OWF-10L20P
この製品のポイント
- 最高オゾン水濃度20ppm
- 最大オゾン水吐出量10L/min
- 冷却水不要
- タッチパネル搭載
- 濃度自動制御
こんなことができます
- 表面酸化
- レジスト剥離
- 有機物洗浄
製品の仕様
型式 | OWF-10L20P |
---|---|
オゾン発生方式 | 無声放電法 |
オゾン水生成能力 | 10L/min にて 最大20ppm以上 (流量・濃度の調整可能) |
接オゾン材質 | 石英ガラス,PFA,PTFE,ルビー |
放電管冷却方式 | 水冷式 (内部ラジエータ水冷) |
原料ガス流量計 | 5L/min |
外形寸法 | 450W×550D×800H (突起部は含まない) |
重量 | 約50kg |
ガス出入口 | 外径6mmまたは1/4インチチューブ用継手 |
原料水入口 | 外形1/2インチ用テフロン継手 |
オゾン水出口 | 外形1/2インチ用テフロン継手 |
電源 | AC100V±10%,50/60Hz オプション:AC200V±10% |
消費電力 | 800W |
外部入出力 | あり |
使用環境 | 気温5~40℃,湿度90%R.H.以下 屋内,結露が無いこと,塵埃が少ないこと |
メーカー | エコデザイン株式会社 |
主に使われる用途・業種
半導体洗浄
液晶製造工程
太陽電池洗浄
レンタル
レンタル対応可 この機種はレンタルサービスをご利用いただけます。ご購入前のお試し利用や、短期間での試験などにご活用ください。
料金表
OWF-10L20P
- 1週間
- -
- 2週間
- -
- 1ヶ月
- ¥350,000
- 2ヶ月
- ¥315,000/月計 ¥630,000
- 3ヶ月
- ¥280,000/月計 ¥840,000
- 4ヶ月
- ¥263,000/月計 ¥1,052,000
- 5ヶ月
- ¥245,000/月計 ¥1,225,000
- 6ヶ月
- ¥228,000/月計 ¥1,368,000
- 7ヶ月
- ¥217,000/月計 ¥1,519,000
- 8ヶ月
- ¥207,000/月計 ¥1,656,000
- 9ヶ月
- ¥196,000/月計 ¥1,764,000
- 10ヶ月
- ¥186,000/月計 ¥1,860,000
- 11ヶ月
- ¥175,000/月計 ¥1,925,000
- 12ヶ月
- ¥165,000/月計 ¥1,980,000