オゾン相談窓口

0493-72-6161 FAX 0493-72-6162 営業時間 平日9:00~18:00 mail@ecodesign-labo.jp

0493-72-6161
営業時間
平日9:00~18:00
mail@ecodesign-labo.jp

導入事例・インタビュー

セファテクノロジー株式会社 様
セファテクノロジー株式会社 様

上越事業所 佐藤正幸 様、亀山賢一 様

所在地:新潟県上越市

半導体基板の精密洗浄用にメタルフリーのオゾン水生成装置

精密洗浄半導体 薬液代替、成膜、精密洗浄、半導体、基板洗浄

オゾン水生成装置 OWF-C45L30P オーダーメイド仕様

使用機種

オゾン水生成装置 OWF-C45L30P オーダーメイド仕様

オゾン水濃度30mg/L、オゾン水流量45L/min。旋回流式溶解法(当社独自技術)により、メタルフリーのオゾン水を高濃度、大流量で供給できます。ご要望に応じて細かい仕様を変更可能です。

――業務内容を教えてください。

自動機や半導体製造関連装置などの設計製造販売を行っております。自動機というのは工場の生産ラインなどで自動で製造を行う機械のことです。弊社の場合規格品ではなく、お客様からこんなものが出来ないかっと相談を受けて、そこから打ち合わせをしながらオーダーメイドで作ります。

 

元々は電気工事から事業をスタートしたのですが、そこから装置作りに入っていき、現在は機械的な部分に関しても一貫して行うことができます。

 

製品例:バッチ式洗浄装置(画像提供:セファテクノロジー株式会社)

――ご使用用途について教えてください。

エコデザインのオゾン水生成装置に関しては、半導体基板の材料となるシリコンウェハーの精密洗浄に使用されます。具体的にはシリコンのインゴットからスライスしたウェハーに対して随時洗浄を行っているような形です。運転頻度としては、常時稼働し続けている工場です。

――弊社のオゾン水生成装置を選んだ理由はなんでしょうか?

エコデザインのオゾン水生成装置はメタルフリーな状態でオゾン水を供給できるので、まずその点から選びました。オゾンガスを直接水に混合するエジェクターでの混合方式であるというところです。半導体の洗浄ではいわゆる金属コンタミの問題で、膜浸透型のような微量の金属が混入することが許されません。

 

また、求められたスペックが製造可能であったということです。選んでたまたま連絡したら新潟までデモ機を持ってきてくれたので、そこで説明を受けて、要求スペックを満たしていましたので決めました。

 

ちなみに、購入した製品は海外の半導体工場に導入するのですが、システム導入のアドバイザーの影響もあり、本来必要となるスペックよりもかなりハイスペックなものを要求してくる傾向があります。日本で使われている物より、もっとハイスペックなものを!みたいな感覚です。正直、余計なコストがかかるのでいい傾向ではないですね。実際には本来の実力の半分程度の能力で運用することになります。

 

石英三重管式放電管

――改善してほしい点を教えてください。

そうですね、やっぱりまずはもうちょっとコンパクトに、ちょっと小さくして頂ければ助かります。

 

それと、立ち上げの時に取説を見るだけで問題なく立ち上げられるように、素人がやっても弄られるのがベストですね。色々と弄らないといけないパラメータがあるので、その点が大変です。知っていれば色々と設定できるので使いやすいと思うのですけど、知らない人にとっては余計なところにまで設定があったりするので。最悪、素人が変に弄って故障の原因にもなります。

 

また、設置する側としてはカバーをもっと開けやすくしてほしいですね。まあ、開けやすくてもそれはそれで問題があるのでしょうけど、メンテナンスするところに関しては簡単に開きやすくしてほしいですね。

―ご要望の点について改善してまいります。ありがとうございました。

インタビュアーのひとこと

長倉正弥

インタビュアー
長倉正弥

当社でも過去最大規模となるオゾン水生成装置を販売させていただきました。

ご担当の佐藤様は業界の生き字引とも言える方で、技術的内容はもちろん、書類の書き方等々、厳しくも暖かくご指導いただき、当社を育てて頂きました。

お会いする度に深い人生経験からくる業界内の動向や、人生についての機知に富んだお話がお聞きできるのが楽しみな方です。

誠にありがとうございました!

インタビュー内容は取材当時のものです。所属、業務内容などは現在では変更となっている場合があります。

他の導入事例・インタビューを見てみる

すべての導入事例・インタビューを見る

研究開発型のオゾン装置メーカーだからできる無料相談サービス

  • お試し試験

    簡単な事前試験
    無料で引き受けます!

  • 機種選定・系統提案

    最適な機種と使い方を
    提案いたします!

  • カスタマイズ可能

    要望に合わせてカスタマイズ
    システム化まで対応!

お客様の課題をエコデザインがご一緒に解決いたします。オゾンに関することはオゾンなんでも相談窓口へ。
製品のご不明点につきましても、遠慮なくお問い合わせください。

お客様の課題をエコデザインがご一緒に解決いたします。オゾンに関することはオゾンなんでも相談窓口へ。
製品のご不明点につきましても、遠慮なくお問い合わせください。