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メタルフリー小型オゾン水生成装置

OWF-10L20P

メタルフリータイプのオゾン水生成装置

MAX10Lで20ppmのメタルフリーオゾン水を生成。

小型のプロセス組込や、各種の実験用途向けに作られたオゾン水生成装置です。タッチパネルで設定したオゾン水濃度に自動制御。先止めでの運転も可能です。

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OWF-10L20Pの特長

  • 金属汚染の無いクリーンオゾン水

    接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適したクリーンなオゾン水を生成。

  • タッチパネルで簡単操作

    タッチパネル操作で簡単に高濃度オゾン水が生成可能。外部制御にも対応しております。

  • 冷却水不要

    高濃度オゾンの発生に欠かせない外部からの冷却水供給を、ラジエータ冷却水循環器内蔵により不要としました。

カスタマイズ対応可能!
利用プロセスや装置に合わせ、カスタマイズ可能です。
機種選定・系統提案いたします!
利用目的を教えてください。豊富な経験と知識を元に、機種選定・系統提案いたします!
組込にあたってのご協力も約束
貴社システムへの組み込みにあたっての注意点、あるいは設計上の問題等について、サポートすることをお約束します。

OWF-10L20Pの概要

メタルフリー小型オゾン水生成装置OWF-10L20P

この製品のポイント

  • 最高オゾン水濃度20ppm
  • 最大オゾン水吐出量10L/min
  • 冷却水不要
  • タッチパネル搭載
  • 濃度自動制御

こんなことができます

  • 表面酸化
  • レジスト剥離
  • 有機物洗浄

製品の仕様

型式OWF-10L20P
オゾン発生方式無声放電法
オゾン水生成能力10L/min にて 最大20ppm以上
(流量・濃度の調整可能)
接オゾン材質石英ガラス,PFA,PTFE,ルビー
放電管冷却方式水冷式 (内部ラジエータ水冷)
原料ガス流量計5L/min
外形寸法450W×550D×800H (突起部は含まない)
重量約50kg
ガス出入口外径6mmまたは1/4インチチューブ用継手
原料水入口外形1/2インチ用テフロン継手
オゾン水出口外形1/2インチ用テフロン継手
電源AC100V±10%,50/60Hz
オプション:AC200V±10%
消費電力800W
外部入出力あり
使用環境気温5~40℃,湿度90%R.H.以下
屋内,結露が無いこと,塵埃が少ないこと
メーカーエコデザイン株式会社

主に使われる用途・業種

  • 半導体洗浄

  • 液晶製造工程

  • 太陽電池洗浄

レンタル

レンタル対応可 この機種はレンタルサービスをご利用いただけます。ご購入前のお試し利用や、短期間での試験などにご活用ください。

料金表

OWF-10L20P
1週間
¥130,000
2週間
¥190,000
1ヶ月
¥250,000
2ヶ月
¥225,000/月計 ¥540,000
3ヶ月
¥200,000/月計 ¥600,000
4ヶ月
¥187,500/月計 ¥750,000
5ヶ月
¥175,000/月計 ¥875,000
6ヶ月
¥162,500/月計 ¥975,000
7ヶ月
¥155,000/月計 ¥1,085,000
8ヶ月
¥147,500/月計 ¥1,180,000
9ヶ月
¥140,000/月計 ¥1,260,000
10ヶ月
¥132,500/月計 ¥1,325,000
11ヶ月
¥125,000/月計 ¥1,375,000
12ヶ月
¥117,500/月計 ¥1,410,000

レンタル価格表
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