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循環型メタルフリー小型オゾン水生成装置

OWF-C5L30P

循環ポンプ内蔵で濃度安定。各種洗浄用途に。

メタルフリー、高濃度タイプのオゾン水生成装置です。各種洗浄装置との組合せ実績多数。枚葉式洗浄装置に最適です。

内部に循環ポンプを内蔵することで、高濃度化と濃度の安定性を実現したオゾン水生成装置です。

枚葉式洗浄装置をはじめとする各種システムへの組込に最適です。

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OWF-C5L30Pの特長

  • 循環方式採用

    溜まり水・捨て水が極めて少なく、濃度の立ち上がりがスピーディ(1分でオゾン水を生成)。洗浄プロセスでのオゾン水濃度・流量が安定します。

  • 金属汚染の無いクリーンオゾン水

    接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適したクリーンなオゾン水を生成。

  • 冷却水不要

    高濃度オゾンの発生に欠かせない外部からの冷却水供給を、ラジエータ冷却水循環器内蔵により不要としました。

  • 高精度オゾン水濃度制御

    紫外線式オゾン水濃度計によりモニタリングした濃度を元にフィードバック制御により安定したオゾン水濃度を常時生成。

カスタマイズ対応可能!
利用プロセスや装置に合わせ、カスタマイズ可能です。
機種選定・系統提案いたします!
利用目的を教えてください。豊富な経験と知識を元に、機種選定・系統提案いたします!
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貴社システムへの組み込みにあたっての注意点、あるいは設計上の問題等について、サポートすることをお約束します。

OWF-C5L30Pの概要

循環型メタルフリー小型オゾン水生成装置OWF-C5L30P

この製品のポイント

  • 最高オゾン水濃度50ppm
  • 循環ポンプ内蔵
  • 冷却水不要
  • 最大オゾン水吐出量7L/min

こんなことができます

  • オゾン水循環システム構成
  • 表面酸化
  • レジスト剥離
  • 有機物洗浄

製品の仕様

型式OWF-C5L30P
オゾン発生方式無声放電法
オゾン水生成能力5L/min にて 最大30ppm以上
(流量・濃度の調整可能)
接オゾン材質石英ガラス,PFA,PTFE,ルビー
放電管冷却方式水冷式 (内部ラジエータ水冷)
原料ガス流量計5L/min
炭酸ガス流量計500mL/min
外形寸法611W×590D×1317H (突起部は含まない)
重量約87kg
ガス出入口外径1/4インチチューブ用LQ3継手
原料水入口外形10mmチューブ用LQ3継手
オゾン水出口外形1/2インチチューブ用LQ3継手
電源AC100V±10%,50/60Hz
消費電力800W
外部入出力あり
使用環境気温5~40℃,湿度90%R.H.以下
屋内,結露が無いこと,塵埃が少ないこと
メーカーエコデザイン株式会社

主に使われる用途・業種

  • 半導体洗浄

  • 液晶製造工程

  • 太陽電池洗浄

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