循環式メタルフリーオゾン水生成装置
OWF-C5L30P
循環ポンプ内蔵で濃度安定。各種洗浄用途に。
メタルフリー、高濃度タイプのオゾン水生成装置です。各種洗浄装置との組合せ実績多数。枚葉式洗浄装置に最適です。
内部に循環ポンプを内蔵することで、高濃度化と濃度の安定性を実現したオゾン水生成装置です。
枚葉式洗浄装置をはじめとする各種システムへの組込に最適です。
OWF-C5L30Pの特長
循環方式採用
溜まり水・捨て水が極めて少なく、濃度の立ち上がりがスピーディ(1分でオゾン水を生成)。洗浄プロセスでのオゾン水濃度・流量が安定します。
金属汚染の無いクリーンオゾン水
接液部に金属を使っておらず、半導体洗浄に適したクリーンなオゾン水を生成。
冷却水不要
高濃度オゾンの発生に欠かせない外部からの冷却水供給を、ラジエータ冷却水循環器内蔵により不要としました。
高精度オゾン水濃度制御
紫外線式オゾン水濃度計によりモニタリングした濃度を元にフィードバック制御により安定したオゾン水濃度を常時生成。
- カスタマイズ対応可能！
- 利用プロセスや装置に合わせ、カスタマイズ可能です。
- 機種選定・系統提案いたします！
- 利用目的を教えてください。豊富な経験と知識を元に、機種選定・系統提案いたします！
- 組込にあたってのご協力も約束
- 貴社システムへの組み込みにあたっての注意点、あるいは設計上の問題等について、サポートすることをお約束します。
OWF-C5L30Pの概要
循環式メタルフリーオゾン水生成装置OWF-C5L30P
この製品のポイント
- 最高オゾン水濃度50ppm
- 循環ポンプ内蔵
- 冷却水不要
- 最大オゾン水吐出量7L/min
こんなことができます
- オゾン水循環システム構成
- 表面酸化
- レジスト剥離
- 有機物洗浄
製品の仕様
| 型式 | OWF-C5L30P |
|---|---|
| オゾン発生方式 | 無声放電法 |
| オゾン水生成能力 | 5L/min にて 最大30ppm以上 (流量・濃度の調整可能) |
| 接オゾン材質 | 石英ガラス,PFA,PTFE,ルビー |
| 放電管冷却方式 | 水冷式 (内部ラジエータ水冷) |
| 原料ガス流量計 | 5L/min |
| 炭酸ガス流量計 | 500mL/min |
| 外形寸法 | 611W×590D×1317H (突起部は含まない) |
| 重量 | 約87kg |
| ガス出入口 | 外径1/4インチチューブ用LQ3継手 |
| 原料水入口 | 外形10mmチューブ用LQ3継手 |
| オゾン水出口 | 外形1/2インチチューブ用LQ3継手 |
| 電源 | AC100V±10%,50/60Hz |
| 消費電力 | 800W |
| 外部入出力 | あり |
| 使用環境 | 気温5～40℃,湿度90％R.H.以下 屋内,結露が無いこと,塵埃が少ないこと |
| メーカー | エコデザイン株式会社 |
主に使われる用途・業種
半導体洗浄
液晶製造工程
太陽電池洗浄